各種工業(yè)廢氣的治理目前都使用椰殼活性炭成型技術，半導體產業(yè)的干式排氣處理中廣泛使用椰殼活性炭的主要原因，有如下七點：
　　(1)【化學性質穩(wěn)定】
　　(2)【價格便宜】
　　(3)【有活性力】
　　(4)【比表面積大】
　　(5)【供給穩(wěn)定】
　　(6)【安全性好】
　　(7)【比重比較輕】
    干式排氣處理方式有兩種．一種是利用具有這些優(yōu)點的椰殼活性炭本身的吸附機能及觸媒機能的方式；另一種是利用通過添加成分提高了吸附機能及觸媒機能的機能性椰殼活性炭的方式。半導體產業(yè)中一般使用成型椰殼活性炭及破碎狀顆�；钚蕴浚瑤缀醪皇褂梅涑矤罨钚蕴考捌渌�考慮壓力損失等的特殊形狀的椰殼活性炭。這是因為，所使用的半導體產業(yè)的氣體中，特別是需要處理的氣體，大多數(shù)是無機系的氣體，無論是進行吸附反應還是進行觸媒反應，無機反應產物都附著在椰殼活性炭表面上，總表面積等比壓力損失更加重要的緣故。
　　椰殼活性炭采用椰子殼為原料精制而成，外形為不定形顆粒，具有機械強度高，孔隙結構發(fā)達，比表面積大，吸附速度快，吸附容量高，易于再生，經久耐用等特點。  主要用于食品、飲料、藥用活性炭、酒類、空氣凈化活性炭和高純飲用水的除臭、去除水中重金屬、除氯及液體脫色。并可廣泛用于化學工業(yè)的溶劑回收和氣體分離等。使用壽命長，種類齊全，分別為黃金提煉專用活性炭、水處理活性炭、味精精制炭、石化脫硫醇專用炭、維尼綸觸媒載體活性炭、乙烯脫鹽水炭、香煙過濾咀炭等等，廣泛應用于食品、醫(yī)療、礦山、冶金、石化、煉鋼、煙草、精細化工等行業(yè)。

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